索引

正式名称は、できるだけJISに準拠した分析名称に統一してあります。JISにない場合は、 学会などで使用されている用語を用いています。

名   称
3 3次元アトムプローブ法
(3 Dimensional Atom Probe)
3DAP
3次元アトムプローブ法
(3 Dimensional Atom Probe)

3DAP
イオンクロマトグラフ法
(Ion Chromatography)

IC
X線回折トポグラフ法
(X-ray Diffraction Topography)

XRT
X線回折法
(X-ray Diffraction)

XRD
X線散漫散乱法
(X-ray Diffuse Scattering)

XDS
X線吸収微細構造法
(X-ray Absorption Fine Structure)

XAFS
X線反射率分析法
(X-ray Reflectometry Analysis)

XRR
X線光電子分光法
(X-ray Photoelectron Spectroscopy)

XPS
X線ロッキングカーブ法
(X-ray Rocking Curve)

XRC
エネルギー分散X線分光法
(Energy Dispersive X-ray Spectroscopy)

EDX, EDS
エミッシヨン顕微鏡法
(Photo Emission Microscopy)

PEM
エリプソメトリ法
(Ellipsometry),
分光エリプソメトリ法
(Spectroscopic Ellipsometry)

EM, SE
オージェ電子分光法
(Auger Electron Spectroscopy)

AES, SAM
角度分解X線励起光電子分光法
(Angle Resolved X-ray Photoelectron Spectroscopy)

ARXPS
角度分解オージェ電子分光法
(Angle-resolved Auger Electron Spectroscopy)

ARAES
ガスクロマトグラフ質量分析法
(Gas Chromatography/Mass Spectrometry)

GC/MS
カソードルミネッセンス法
(Cathodeluminescence Spectroscopy)

CL
共焦点走査型レーザー顕微鏡法
(Confocal Laser Scanning Microscopy),
共焦点顕微鏡法
(Confocal Microscopy)

CLSM, CMS
グロー放電質量分析法
(Glow Discharge Mass Spectrometry)

GDMS
グロー放電発光分光分析法
(Glow Discharge Optical Emission Spectrometry, Glow Discharge Spectroscopy)

GD-OES, GDS
蛍光X線分析法
(X-ray Fluorescence Analysis,
Fluorescent X-ray Analysis)

XRF
原子間力顕微鏡
(Atomic Force Microscope)

AFM
原子吸光分光分析法
(Atomic Absorption Spectrometry)

AAS
光学顕微鏡法
(Optical Microscopy)

OM
固体核磁気共鳴分析法
(Solid-state Nuclear Magnetic Resonance Spectroscopy)

Solid-state NMR
紫外線光電子分光法
(Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy)

UPS
集束イオンビーム法
(Focused Ion Beam)

FIB
収束電子線回折法
(Convergent Beam Electron Diffraction)

CBED
昇温脱離ガス分光法
(Thermal Desorption Spectrometry,
Temperature Programmed Desorption)

TDS, TDP
触針法
(Stylus Method)

赤外レーザ照射加熱抵抗変化検出法
(Infrared Optical Beam Induced Resistance Change)

IR-OBIRCH
全反射蛍光X線分析法
(Total Reflection X-ray Fluorescence,
Total Reflection X-ray Fluorescence Method)

TXRF
走査型静電容量顕微鏡法
(Scanning Capacitance Microscopy)

SCM
走査型電子顕微鏡法
(Scanning Electron Microscopy)

SEM
走査型拡がり抵抗顕微鏡法
(Scanning Spreading Resistance Microscopy)

SSRM
走査型プローブ顕微鏡法
(Scanning Probe Microscopy)

SPM
走査透過電子顕微鏡法
(Scanning Transmission Electron Microscopy)

STEM
走査型トンネル顕微鏡法
(Scanning Tunneling Mircroscopy)

STM
ラザフォード後方散乱分析法
(Rutherford Backscattering Spectrometry)
中速イオン散乱分光法
(Medium Energy Ion Scattering Spectroscopy)
(High-Resolution Rutherford Backscattering Spectrometry)

RBS, MEIS(HR-RBS)
低速電子線回折法
(Low Energy Electron Diffraction Method)

LEED
電界イオン顕微鏡法
(Field Ion Microscopy)

FIM
電界放射顕微鏡法
(Field Emission Microscopy)

FEM
電子エネルギー損失分光法
(Electron Energy Loss Spectroscopy)

EELS
電子スピン共鳴分析法
(Electron Spin Resonance),
電子常磁性共鳴分析法
(Electron Paramagnetic Resonance)

ESR, EPR
電子線後方散乱回折法
(Electron Backscatter Diffraction),
電子後方散乱パターン
(Electron BackScattering Pattern)

EBSD, EBSP
電子線ホログラフィー法
(Electron Beam Holography,
Electron Holography)

電子線励起電流法
(Electron Beam Induced Current)

EBIC
電子プローブ微小分析法
(Electron Probe Microanalysis)

EPMA
透過型電子顕微鏡法
(Transmission Electron Microscope)

TEM
ナノビーム電子回折法
(Nano Beam Electron Diffraction),
ナノビーム回折法
(Nano Beam Diffraction)

NBED, NBD
ナノプローバ
(Nano Prober)

NP
二次イオン質量分析法
(Secondary-ion Mass Spectroscopy)

SIMS
光音響分光法(Photoacoustic Spectrometry),
フーリエ変換赤外光音響分光法(Fourier Transform Infrared Photoacoustic Spectrometry)

PAS, FTIR-PAS
飛行時間型二次イオン質量分析法
(Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry)

TOF-SIMS
拡がり抵抗測定法
(Spreading Resistance Analysis)

SRA
光音響分光法(Photoacoustic Spectrometry),
フーリエ変換赤外光音響分光法(Fourier Transform Infrared Photoacoustic Spectrometry)

PAS, FTIR-PAS
フーリエ変換赤外分光法
(Fourier Transform Infrared Spectroscopy)

FTIR
フォトルミネッセンス法
(Photoluminescence Spectroscopy)

PL
エリプソメトリ法
(Ellipsometry),
分光エリプソメトリ法
(Spectroscopic Ellipsometry)

EM, SE
誘導結合プラズマ質量分析法
(Inductively Coupled Plasma-Mass Spectroscopy)

ICP-MS
誘導結合プラズマ発光分光分析法
(Inductively Coupled Plasma Optical Emission Spectrometry,
Inductively Coupled Plasma Atomic Emission Spectrometry)

ICP-OES, ICP-AES
陽電子消滅法
(Positron Annihilation Spectroscopy)

PAS
ラザフォード後方散乱分析法
(Rutherford Backscattering Spectrometry)
中速イオン散乱分光法
(Medium Energy Ion Scattering Spectroscopy)
(High-Resolution Rutherford Backscattering Spectrometry)

RBS, MEIS(HR-RBS)
ラマン分光法
(Raman Scattering Spectroscopy)

Raman
ラマン分光法(歪計測)
(Raman Spectroscopy for strain measurements)

Raman

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