( C10 ) プローブ:X線、分析対象:電気特性

分析手法 略号 分析原理 得られる情報 分析感度・スペック 適用例
角度分解X線励起光電子分光法
(Angle-resolved X-ray Photoelectron Spectroscopy)
ARXPS X線を試料表面に照射し、放出されるエネルギーから、試料表面元素の定性・定量を行なう ・試料表面の元素の定性、定量
・化学結合状態分析
・主成分元素の深さ方向分布、化学結合状態の深さ方向分析
エリア:数十nm~数mm
深さ:数nm~10nm
感度:0.1%程度
・薄膜の深さ方向の組成
・化学結合状態分析(high-kなど)
X線光電子分光法
(X-ray Photoelectron Spectroscopy)
XPS X線を試料表面に照射し、放出される電子のエネルギーから、試料表面元素の定性・定量を行なう ・試料表面の元素の定性、定量
・化学結合状態分析
・バンドダイアグラム
・主成分元素の深さ方向分布,化学状態深さ方向分析@イオンスパッタ
エリア:数十nm~数mm
深さ:数nm~10nm
感度:0.1%程度
・基板や配線材料など表面の化学結合状態分析
・ゲート絶縁膜の深さ方向分析
・ゲート絶縁膜と基板のバンドダイアグラム(ゲート絶縁膜と基板、容量絶縁膜と電極)