( C8 ) プローブ:X線、分析対象:形状
分析手法 | 略号 | 分析原理 | 得られる情報 | 分析感度・スペック | 適用例 |
X線反射率分析法 (X-ray Reflectometry Analysis) |
XRR | 試料にX線を低角入射させ、反射するX線を測定することによって、試料表面の薄膜構造を分析する |
・膜厚 ・密度 ・表面 ・界面粗さ |
膜厚:1nm~1000nm 粗さ:<2nm 密度:>1.0g/cm3 |
・SiGe、SiC膜厚 ・High-k/メタルゲート膜厚 ・シリサイド膜厚 ・キャパシタ絶縁膜膜厚 ・強誘電体膜膜厚 ・層間絶縁膜密度 ・膜厚 ・配線層膜厚 |