略号対応表

略号の正式名称は、できるだけJISに準拠した分析名称に統一してあります。JISにない場合は、 学会などで使用されている用語を用いています。

略   号
3 3DAP
3次元アトムプローブ法
(3 Dimensional Atom Probe)
A AAS
原子吸光分光分析法
(Atomic Absorption Spectrometry)
AES, SAM
オージェ電子分光法
(Auger Electron Spectroscopy)
AFM
原子間力顕微鏡
(Atomic Force Microscope)
ARAES
角度分解オージェ電子分光法
(Angle-resolved Auger Electron Spectroscopy)
ARXPS
角度分解X線励起光電子分光法
(Angle Resolved X-ray Photoelectron Spectroscopy)
C CBED
収束電子線回折法
(Convergent Beam Electron Diffraction)
CL
カソードルミネッセンス法
(Cathodeluminescence Spectroscopy)
CLSM, CMS
共焦点走査型レーザー顕微鏡法
(Confocal Laser Scanning Microscopy),
共焦点顕微鏡法
(Confocal Microscopy)
E EBIC
電子線励起電流法
(Electron Beam Induced Current)
EBSD, EBSP
電子線後方散乱回折法
(Electron Backscatter Diffraction),
電子後方散乱パターン
(Electron BackScattering Pattern)
EDX, EDS
エネルギー分散X線分光法
(Energy Dispersive X-ray Spectroscopy)
EELS
電子エネルギー損失分光法
(Electron Energy Loss Spectroscopy)
EM, SE
エリプソメトリ法
(Ellipsometry),
分光エリプソメトリ法
(Spectroscopic Ellipsometry)
EPMA
電子プローブ微小分析法
(Electron Probe Micro Analysis)
ESR, EPR
電子スピン共鳴分析法
(Electron Spin Resonance),
電子常磁性共鳴分析法
(Electron Paramagnetic Resonance)
F FEM
電界放射顕微鏡法
(Field Emission Microscopy)
FIB
集束イオンビーム法
(Focused Ion Beam)
FIM
電界イオン顕微鏡法
(Field Ion Microscopy)
FTIR
フーリエ変換赤外分光法
(Fourier Transform Infrared Spectroscopy)
PAS, FTIR-PAS
光音響分光法
(Photoacoustic Spectroscopy),
フーリエ変換赤外光音響分光法
(Fourier Transform Infrared Photoacoustic Spectroscopy)
G GC/MS
ガスクロマトグラフ質量分析法
(Gas Chromatography/Mass Spectrometry)
GDMS
グロー放電質量分析法
(Glow Discharge Mass Spectrometry)
GD-OES, GDS
グロー放電発光分光分析法
(Glow Discharge Optical Emission Spectrometry,
Glow Discharge Spectroscopy)
I IC
イオンクロマトグラフ法
(Ion Chromatography)
ICP-MS
誘導結合プラズマ質量分析法
(Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry)
ICP-OES, ICP-AES
誘導結合プラズマ発光分光分析法
(Inductively Coupled Plasma Optical Emission Spectrometry,
Inductively Coupled Plasma Atomic Emission Spectrometry)
IR-OBIRCH
赤外レーザ照射加熱抵抗変化検出法
(Infrared Optical Beam Induced Resistance Change)
L LEED
低速電子線回折法
(Low Energy Electron Diffraction)
M RBS, MEIS(HR-RBS)
ラザフォード後方散乱分析法
(Rutherford Backscattering Spectrometry)
中速イオン散乱分光法
(Medium Energy Ion Scattering Spectroscopy)
(High-Resolution Rutherford Backscattering Spectrometry)
N NBED, NBD
ナノビーム電子回折法
(Nano Beam Electron Diffraction),
ナノビーム回折法
(Nano Beam Diffraction)
NP
ナノプローバ
(Nano Prober)
O OM
光学顕微鏡法
(Optical Microscopy)
P PAS
陽電子消滅法
(Positron Annihilation Spectroscopy)
PAS, FTIR-PAS
光音響分光法(Photoacoustic Spectrometry),
フーリエ変換赤外光音響分光法(Fourier Transform Infrared Photoacoustic Spectrometry)
PEM
エミッシヨン顕微鏡法
(Photo Emission Microscopy)
PL
フォトルミネッセンス法
(Photoluminescence Spectroscopy)
R Raman
ラマン分光法
(Raman Scattering Spectroscopy)
Raman
ラマン分光法(歪計測)
(Raman Spectroscopy for strain measurements)
RBS, MEIS(HR-RBS)
ラザフォード後方散乱分析法
(Rutherford Backscattering Spectrometry)
中速イオン散乱分光法
(Medium Energy Ion Scattering Spectroscopy)
(High-Resolution Rutherford Backscattering Spectrometry)
S AES, SAM
オージェ電子分光法
(Auger Electron Spectroscopy)
SCM
走査型静電容量顕微鏡法
(Scanning Capacitance Microscopy)
EM, SE
エリプソメトリ法
(Ellipsometry),
分光エリプソメトリ法
(Spectroscopic Ellipsometry)
SEM
走査量顕微鏡法
(Scanning Capacitance Microscopy)
SIMS
二次イオン質量分析法
(Secondary Ion Mass Spectrometry)
Solid-state NMR
固体核磁気共鳴法
(Solid-state Nuclear Magnetic Resonance Spectroscopy)
SRA
拡がり抵抗測定法
(Spreading Resistance Analysis)
SSRM
走査型拡がり抵抗顕微鏡法
(Scanning Spreading Resistance Microscopy)
STEM
走査透過電子顕微鏡法
(Scanning Transmission Electron Microscopy)
T TDS, TDP
昇温脱離ガス分光法
(Thermal Desorption Spectrometry,
Temperature Programmed Desorption)
TEM
透過型電子顕微鏡
(Transmission Electron Microscope)
TOF-SIMS
飛行時間型二次イオン質量分析法
(Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry)
TXRF
全反射蛍光X線分析法
(Total Reflection X-ray Fluorescence,
Total Reflection X-ray Fluorescence Method)
U UPS
紫外線光電子分光法
(Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy)
X XAFS
X線吸収微細構造法
(X-ray Absorption Fine Structure)
XDS
X線散漫散乱法
(X-ray Diffuse Scattering)
XPS
X線光電子分光法
(X-ray Photoelectron Spectroscopy)
XRC
X線ロッキングカーブ法
(X-ray Rocking Curve)
XRD
X線回折法
(X-ray Diffraction)
XRF
蛍光X線分析法
(X-ray Fluorescence Analysis,
Fluorescent X-ray Analysis)
XRR
X線反射率分析法
(X-ray Reflectometry Analysis)
XRT
X線回折トポグラフ法
(X-ray Diffraction Topography)
触針法
触針法
(Stylus Method)
電子線ホログラフィー法
電子線ホログラフィー
(Electron Beam Holography,
Electron Holography)

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