( D2 ) プローブ:光、分析対象:組成・不純物
分析手法 | 略号 | 分析原理 | 得られる情報 | 分析感度・スペック | 適用例 |
光音響分光法 (Photoacoustic Spectroscopy), フーリエ変換赤外光音響分光法 (Fourier Transform Infrared Photoacoustic Spectroscopy) |
PAS, FTIR-PAS | 試料に強度変調した光を照射し、光吸収により生じた熱変化による圧力変化を音波として検出する方法。通常のPASは、強度変調をチョッパーによる光の断続で行うが、FTIR-PASでは、強度変調を干渉計で行い、得られた信号をフーリエ変換することにより赤外吸収スペクトルを求める。 |
・光吸収スペクトル ・赤外吸収スペクトル(FTIR) ・変調周波数(FTIRでは移動鏡の速度)により、光吸収の深さプロファイルが得られる。 |
・繊維、フィルム、粉末等の表面処理剤のスペクトル測定、深さ方向分析など。 | |
紫外線光電子分光法 (Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy) |
UPS | 高真空下の固体表面に紫外線照射を照射し、放出される電子のエネルギー分布を測定する |
・価電子帯の電子構造 ・金属の仕事関数 |
エネルギー分解能:0.1eV 測定深さ:1nm 測定面積:φ800μm |
・金属の仕事関数測定 ・半導体のイオン化ポテンシャル測定 ・試料の化学状態 |