[TSC]つくば半導体コンソーシアム

( D3 ) プローブ：光、分析対象：化学結合

分析手法	略号	分析原理	得られる情報	分析感度・スペック	適用例
フーリエ変換赤外分光法 (Fourier Transform Infrared Spectrophotometer)	FTIR	試料を透過あるいは反射した赤外干渉光を検出し、その信号をフーリエ変換処理することで赤外スペクトルを測定し物質を同定、定性分析	・化学結合状態	測定エリア：～10μmφ	・シリコン結晶中の酸素，窒素，水素など不純物の定量分析・異物、付着物の定性分析・自然酸化膜の構造・PSGおよびBSG膜の評価・有機物の定性分析
ラマン分光法 (Raman Scattering Spectroscopy)	Raman	物質に入射した光が散乱される時、フォノン等とエネルギーをやりとりして、入射光と異なった振動数で散乱される光を分析	・結晶性・化学結合・キャリア密度	・測定エリア:100nmφ～数μmφ ・深さ:数nm～数μm ・空間分解能　>1μm ・深さ分解能　1-5μm ・検出感度　>1wt%	・結晶性・半導体表面の微量分析・半導体表面の化学結合状態