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( D6 ) プローブ：光、分析対象：ストレス・歪

分析手法 略号 分析原理 得られる情報 分析感度・スペック 適用例
ラマン分光法（歪計測）
(Raman Spectroscopy for strain measurements)		 Raman 物質に入射した光が散乱される時、フォノン等とエネルギーをやりとりして、入射光と異なった振動数で散乱される光を分析 ・応力(歪み)
 測定エリア:100nmφ～数μmφ
深さ:数nm～数μm
感度：応力＜50MPa
歪＜0.05% 		・ゲート電極や素子分離構造に起因する結晶応力評価