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( F5) プローブ：イオン・原子、分析対象：密度・空孔度

分析手法 略号 分析原理 得られる情報 分析感度・スペック 適用例
ラザフォード後方散乱分析法
(Rutherford Backscattering Spectrometry)
中速イオン散乱分光法
(Medium Energy Ion Scattering. Spectroscopy)
(High-Resolution Rutherford Backscattering Spectrometry)		 RBS, MEIS
(HR-RBS)		 加速したイオンを試料に照射し、固体中の原子によって散乱されたイオンを検出する（数MeV：RBS、数百keV：MEIS） ・元素の深さ方向濃度分布測定（原子層レベル＠MEIS）
・チャンネリング法により結晶軸方位、結晶性に関する情報が得られる
 深さ分解能：～1nm＠MEIS
分析領域：1μm
検出下限：0.01at%
 ・ゲート絶縁膜(SiON膜,high-k膜)の組成評価
・各種薄膜の定量分析