( H7 ) プローブ:メカニカル・プローブ、分析対象:硬度
分析手法 | 略号 | 分析原理 | 得られる情報 | 分析感度・スペック | 適用例 |
触針法 (Stylus Method) |
試料表面に触針を接触させて走査し、表面の形状(凹凸)を測定する。触針の上下変位の検出には差動トランスを用いていることが多い |
・表面形状 ・膜厚(段差) ・粗さ ・うねり |
分解能:~0.1nm 垂直レンジ:~1mm 走査距離:~100mm 触針圧:~15mg |
・金属膜含む各種薄膜の膜厚(段差)測定 ・各種試料表面の形状、粗さ、うねり測定 |