( I2 ) プローブ:その他、分析対象:組成・不純物

分析手法 略号 分析原理 得られる情報 分析感度・スペック 適用例
ガスクロマトグラフ質量分析法
(Gas Chromatography/Mass Spectrometry)
GC/MS GC部のカラムで分離した各成分をMS部でイオン化し質量分析をする ・化合物の定量
・化合物の定性
感度:~ppb ・半導体デバイスの有機不純物の定性・定量
・室内環境の揮発性有機化合物の定性・定量
・異物の定性
・異臭の定性
昇温脱離ガス分析法
(Thermal Desorption Spectrometry, Temperature Programmed Desorption)
TDS, TPD 試料温度を所定の速度で昇温しながら、表面から脱離するガス成分や蒸発種の質量分析をおこなう ・試料表面および内部から脱離するガス種と脱離温度、脱離量
・脱離温度の違いから、化学結合状態の分析
感度:~1E14/cm2 ・製造工程中の熱負荷時に発生するガス種、ガス量のプロセスインテグレーション(製造工程)依存性の評価
・製造工程による表面残渣やダメージの評価
・薄膜材料からのH2、H2O等の脱離温度特性、脱離量の評価
・有機薄膜材料からの脱離ガス種の評価