( I2 ) プローブ:その他、分析対象:組成・不純物
分析手法 | 略号 | 分析原理 | 得られる情報 | 分析感度・スペック | 適用例 |
ガスクロマトグラフ質量分析法 (Gas Chromatography/Mass Spectrometry) |
GC/MS | GC部のカラムで分離した各成分をMS部でイオン化し質量分析をする |
・化合物の定量 ・化合物の定性 |
感度:~ppb |
・半導体デバイスの有機不純物の定性・定量 ・室内環境の揮発性有機化合物の定性・定量 ・異物の定性 ・異臭の定性 |
昇温脱離ガス分析法 (Thermal Desorption Spectrometry, Temperature Programmed Desorption) |
TDS, TPD | 試料温度を所定の速度で昇温しながら、表面から脱離するガス成分や蒸発種の質量分析をおこなう |
・試料表面および内部から脱離するガス種と脱離温度、脱離量 ・脱離温度の違いから、化学結合状態の分析 |
感度:~1E14/cm2 |
・製造工程中の熱負荷時に発生するガス種、ガス量のプロセスインテグレーション(製造工程)依存性の評価 ・製造工程による表面残渣やダメージの評価 ・薄膜材料からのH2、H2O等の脱離温度特性、脱離量の評価 ・有機薄膜材料からの脱離ガス種の評価 |