( A3 ) プローブ:電場、 分析対象:化学結合
分析手法 | 略号 | 分析原理 | 得られる情報 | 分析感度・スペック | 適用例 |
電界イオン顕微鏡法 (Field Ion Microscopy) [3次元アトムプローブ法の詳細説明にリンクします] |
FIM | 針状の試料先端に正の高電界を印加して結像ガスをイオン化、そのイオンを対面する MCP(マイクロチャネルプレート)で結像することにより、試料先端部の原子像を得る | ・固体材料の表面構造、結晶構造 |
測定領域:先端径<100 nm の針状試料先端部 空間分解能: 単原子レベルで観察可能 |
・合金の微細構造 ・表面吸着物の観察 |