[TSC]つくば半導体コンソーシアム

( B3 ) プローブ：磁場、分析対象：化学結合

分析手法	略号	分析原理	得られる情報	分析感度・スペック	適用例
電子スピン共鳴分析法 (Electron Spin Resonance)/ 電子常磁性共鳴分析法 (Electron Paramagnetic Resonance)	ESR, EPR	不対電子を持った物質に磁場を加えた時の生じる2つのスピンエネルギー準位間に相当するマイクロ波を外部から加えることで得られる共鳴現象が電子スピン共鳴（ESR）であり、このエネルギーの吸収・放出量を外部磁場に対して検知することでESRスペクトルを得る	・不対電子を持った物質の分子構造情報・ラジカルなどの不対電子または自由電子を持つ化学種の分子構造情報と定量・不対電子または自由電子を持つ化学種の分子運動の速度	マイクロ波周波数：9.8GHｚ（Xバンド）外部磁場：0.01～800mT 測定温度：4.2～600K(-268.95～326.85℃)　(温度変化測定も可能) 紫外線照射による測定可能	・活性酸素種の同定・定量や抗酸化性物質の活性酸素消去能力（抗酸化能）評価・ラジカル反応や光化学反応における反応中間体の同定・Cu（II）やMn（II）など特定の遷移金属の定量・シリコンウエハ中のPの定量・シリコンウエハ上の薄膜中および界面の欠陥の定量