( C10 ) プローブ:X線、分析対象:電気特性
分析手法 | 略号 | 分析原理 | 得られる情報 | 分析感度・スペック | 適用例 |
角度分解X線励起光電子分光法 (Angle-resolved X-ray Photoelectron Spectroscopy) |
ARXPS | X線を試料表面に照射し、放出されるエネルギーから、試料表面元素の定性・定量を行なう |
・試料表面の元素の定性、定量 ・化学結合状態分析 ・主成分元素の深さ方向分布、化学結合状態の深さ方向分析 |
エリア:数十nm~数mm 深さ:数nm~10nm 感度:0.1%程度 |
・薄膜の深さ方向の組成 ・化学結合状態分析(high-kなど) |
X線光電子分光法 (X-ray Photoelectron Spectroscopy) |
XPS | X線を試料表面に照射し、放出される電子のエネルギーから、試料表面元素の定性・定量を行なう |
・試料表面の元素の定性、定量 ・化学結合状態分析 ・バンドダイアグラム ・主成分元素の深さ方向分布,化学状態深さ方向分析@イオンスパッタ |
エリア:数十nm~数mm 深さ:数nm~10nm 感度:0.1%程度 |
・基板や配線材料など表面の化学結合状態分析 ・ゲート絶縁膜の深さ方向分析 ・ゲート絶縁膜と基板のバンドダイアグラム(ゲート絶縁膜と基板、容量絶縁膜と電極) |