[TSC]つくば半導体コンソーシアム

( H7 ) プローブ：メカニカル・プローブ、分析対象：硬度

分析手法	略号	分析原理	得られる情報	分析感度・スペック	適用例
触針法 (Stylus Method)		試料表面に触針を接触させて走査し、表面の形状（凹凸）を測定する。触針の上下変位の検出には差動トランスを用いていることが多い	・表面形状・膜厚(段差) ・粗さ・うねり	分解能：～0.1nm 垂直レンジ：～1mm 走査距離：～100mm 触針圧：～15mg	・金属膜含む各種薄膜の膜厚(段差）測定・各種試料表面の形状、粗さ、うねり測定