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[1970] Re:EELS分析とEDS分析 2010-12-17 00:47:43
お名前 : TEM [ホームページ] カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術
>「透過電子顕微鏡用語辞典」(工業調査会)P6から引用。
>
>EELSがEDSに比べて有利な点は
>スペクトルの検出効率が圧倒的に高いことである。
>その理由は電子線の非弾性散乱は散乱角 -10^-2rad以内に集中しているのに比べて、
>X線発光は全ての角度に渡って起こるからである。

→ 確かに検出効率はEELSの方が高いので、究極的な高感度分析はEELSで実現されるのでしょうか。しかし、Csコレクタ付TEMでの高感度分析データにはEDSの方が多いように思います。実際的にはEDSの方が高感度なのでしょうか。何か比較データがあればお教え下さい。

 
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題名 お名前 投稿日付 No. カテゴリー
 EELS分析とEDS分析 TEM初心者 2010-12-05 23:46:09 1965 計測分析技術
  └ EELS分析とEDS分析 TEM初心者 2010-12-06 08:23:45 1966  
    └ Re:EELS分析とEDS分析 TEM初心者 2010-12-06 08:24:35 1967  
  └ Re:EELS分析とEDS分析 解析経験者 2010-12-09 18:21:27 1968  
  └ Re:EELS分析とEDS分析 EELS超初心者 2010-12-11 12:26:07 1969  
    └ Re:EELS分析とEDS分析 TEM 2010-12-17 00:47:43 1970  
      └ Re:EELS分析とEDS分析 EELS超初心者 2011-01-02 22:16:37 1971  
        └ Re:EELS分析とEDS分析 TEM 2011-01-04 00:15:44 1972  
          └ Re:EELS分析とEDS分析 杉山直之(東レリサーチセンター) 2011-01-05 14:45:42 1973  
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