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[2464] Re:SEM観察時のリターディングノウハウについて 2017-03-15 15:28:06
お名前 : tt カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術
KD-FEM担当者様

専門家に伺ったところ以下のような返事を頂きました。

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リターディングの電界が均一にかかっていない可能性があります。
試料面を平坦にし、試料台の中心付近を観察できるようにサンプリングする必要があります。
そうするとリターディング電界は均一になりますので、調整はそんなに煩雑ではなくなりますし、スティグマがあわないということはないはずです。

手順としては下記です。
①目視で構わないので試料面が平坦になるように試料を試料台にサンプリングする。~数百um程度の凹凸は問題ないはず。
 断面のように幅が小さいのはNG。試料面が傾斜しているのもNG。
②試料台の中心付近を観察する。(試料台もしくは試料エッジからなるべく離れているのがポイントです。)
③カーボンナノチューブのように導電性が高い試料の場合にはリターディングにより
 チューブ先端から放電し、像障害が発生する場合がありますが、本試料が放電するかどうかはわかりません。
 放電する場合にはリターディング電圧を下げて対応します。

まずは①②を確認して頂く必要があるかと思います。
試料の組成、材質、形状などがわかればもう少し具体的に提案できるかもしれません。
また画像を拝見させて頂ければ同じく具体的に提案できるかもしれません。
不明点あればご連絡下さい。
宜しくお願い致します。
 
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題名 お名前 投稿日付 No. カテゴリー
 SEM観察時のリターディングノウハウについて KD-FEM担当者 2016-10-27 13:35:28 2457 計測分析技術
  └ Re:SEM観察時のリターディングノウハウについ... tt 2017-02-25 22:28:39 2461  
    └ Re:SEM観察時のリターディングノウハウについ... KD-FEM担当者 2017-03-09 13:27:03 2463  
    └ Re:SEM観察時のリターディングノウハウについ... tt 2017-03-15 15:28:06 2464  


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