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[809] NBDでの入射電子線のサイズについて 2009-12-04 09:50:46
お名前 : 分析担当者 [ホームページ] カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術
NBDでの歪み評価では、応力緩和の点からTEM観察試料の厚さは厚い方が良い(200kVのTEMで500nm程度)とのことですが、試料膜厚が厚い場合、入射電子線のサイズが試料内で広がることはないのでしょうか。
 
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 NBDでの入射電子線のサイズについて 分析担当者 2009-12-04 09:50:46 809 計測分析技術
  └ Re:NBDでの入射電子線のサイズについて ★STORK 2009-12-09 11:48:23 810  
    └ Re:NBDでの入射電子線のサイズについて 分析担当者 2009-12-09 15:18:58 811  
      └ Re:NBDでの入射電子線のサイズについて ED-NM 2009-12-10 09:50:45 812  
        └ Re:NBDでの入射電子線のサイズについて 分析担当者 2009-12-10 23:45:01 813  
        └ Re:NBDでの入射電子線のサイズについて SEM担当者 2010-07-28 08:04:46 814  
          └ Re:NBDでの入射電子線のサイズについて ED-NM 2010-07-28 12:42:25 815  


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