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技術交流掲示板
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[2084] クラスターイオンについて 2010-09-25 15:19:49
お名前 : nana [ホームページ] カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術
[660]Re:イオン顕微鏡モンテ・カルロの活用http://www.tsc-web.jp/forum/index.html?mode=viewmain&l=1&no=650&no2=660&p=&page=0&dispno=650でクラスターイオンの話が出ていますが、Arクラスタ,水クラスタ,C60などはどのような特徴があり、どれが実用的なのでしょうか。
 
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[2095] Re:クラスターイオンについて 2010-12-03 00:57:25
お名前 : 初心者 [ホームページ] カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術
なぜ、大きな質量を持つクラスターイオンが表面分析にとってメリットがあるのでしょうか。質量が大きいと試料表面の変質などが激しくなるように思うのですが。
 
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[2096] Re:クラスターイオンについて 2010-12-06 07:45:35
お名前 : 表面分析士 [ホームページ] カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術
「大きな質量を持つクラスターイオンが表面分析にとってメリットがあるのでしょうか。」との質問ですが,先に
御紹介した各種文献をごらんいただくのが系統的に理解
して頂ける近道ですが簡単に説明します。
クラスターイオンのメリット
1)印加エネルギーが各原子(イオン)に分割されるため
実効エネルギーが小さくなる。(100このクラスタを10
kVで加速すると1個の原子あたり100V のエネルギー
になる。)
2)サイズが大きいと試料内に進入しないため,ダメー
ジが最表面に限定される。
というのが表面分析に使うメリットになります。

実際にポリマーの分析などでその構造が大きく変化し
ていないことからその有用性が示されています。
 
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[2097] Re:クラスターイオンについて 2010-12-11 12:03:17
お名前 : 初心者 [ホームページ] カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術
 印加エネルギーが各イオンに分割されるのですね。紹介頂いた文献で勉強します。
 
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[2098] Re:クラスターイオンについて 2010-12-06 12:45:02
お名前 : ion [ホームページ] カテゴリー : 【計測分析技術の話題】【計測分析技術
半導体分野とは関係が少ないかもしれませんが、日本分析化学会の高分子分析研究懇談会http://www.pacd.jp/icpac_prog_J.html
で、 アルゴンクラスターも含めたクラスターイオンに関する報告があります。
I-14 XPSおよびTOF-SIMSにおけるアルゴンガスクラスターイオンビームを用いたポリマーの化学状態、構造情報深さ方向分析
     (アルバック・ファイ) 宮山卓也
I-15 カーボンクラスターを用いたフッ素樹脂のXPS深さ方向分析 (旭硝子) 鈴木俊夫
 
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